HỆ THỐNG HÚT CHÂN KHÔNG ULVAC YM-VD, YM-VS

Hạng mục

Model

YM-VD100C

YM-VD300C

YM-VS-600A

Kết hợp bơm

Bơm tăng áp cơ khí

PMB-001C(M)

PMB-003C(M)

PRC-006A

Bơm chân không quay dầu

VD301

VD401

VS1501

Tốc độ hút chân không tối đa
m³/giờ(Lít/phút)

50Hz

95(1580)

250(4100)

550(9200)

60Hz

115(1900)

290(4800)

660(11000)

Áp suất cuối cùng (Pa) (*1)

4.0 x 10^-1

6.7 x 10^-1

Công suất động cơ
(kW) (số cực) (*2)

Bơm tăng áp cơ khí

0.4(2)

0.75(2)

2.2(2)

Bơm chân không quay dầu

1.5(4)

5.5(4)

Khối lượng dầu (*2)
(L)

Bơm tăng áp cơ khí

0.35

0.7

1.5

Dầu tiêu chuẩn

ULVDầU® R-4

Bơm chân không quay dầu

1.0 đến 2.5

8.0 đến 10.5

Dầu tiêu chuẩn

ULVDầU® R-7

Nước làm mát

Phương pháp làm mát

Bơm tăng áp cơ khí

Không khí được làm mát

Nước được làm mát

Bơm chân không quay dầu

Không khí được làm mát

Nước được làm mát

Áp suất cơ bản/
Áp suất chênh lệch ĐẦU RA-ĐẦU VÀO(MPa)

-

<=0.3 (áp suất áp kế)/0.05

Nhiệt độ (ºC)

-

5 đến 30

Tốc độ lưu lượng (lít/phút)

Không khí được làm mát *3

4

Kích cỡ đầu hút (JIS B 2290)

VG50

VG80

Kích cỡ lỗ thông gió (JIS B 2290)

VG40

G3

Trọng lượng (kg)

130

155

515

Thiết bị chọn thêm

Hạng mục

Model

YM-VS-1201A

YM-VS-1202A

Kết hợp bơm

Bơm tăng áp cơ khí

PRC-012A

PRC-012A

Bơm chân không quay dầu

VS1501

VS2401

Tốc độ hút chân không tối đa
m³/giờ(Lít/phút)

50Hz

850(14200)

1000(16700)

60Hz

1000(16700)

1200(20000)

Áp suất cuối cùng (Pa) (*1)

6.7 x 10^-1

Công suất động cơ
(kW) (số cực) (*2)

Bơm tăng áp cơ khí

3.7(2)

3.7(2)

Bơm chân không quay dầu

5.5(4)

7.5(4)

Khối lượng dầu (*2)
(L)

Bơm tăng áp cơ khí

1.5

1.9

Dầu tiêu chuẩn

ULVDầU® R-4

Bơm chân không quay dầu

8.0 đến 10.5

Dầu tiêu chuẩn

ULVDầU® R-7

Nước làm mát

Phương pháp làm mát

Bơm tăng áp cơ khí

Nước được làm mát

Bơm chân không quay dầu

Nước được làm mát

Áp suất cơ bản/
Áp suất chênh lệch ĐẦU RA-ĐẦU VÀO (MPa)

<=0.3(áp suất áp kế)/0.05

Nhiệt độ (ºC)

5 đến 30

Tốc độ lưu lượng (lít/phút)

4

5

Kích cỡ đầu hút (JIS B 2290)

VG100

Kích cỡ lỗ thông gió (JIS B 2290)

G3

G4

Trọng lượng (kg)

550

630

Thiết bị chọn thêm

Catalog này sử dụng các đơn vị đo lường SI. Việc chuyển đổi sang các đơn vị phi-SI như sau:
Áp suất cuối cùng: 4.0 x 10^-1/6.7 x 10^-1Pa=3.0 x 10^-3/5.0 x 10^-3Torr
Áp suất nước làm mát: 0.3/0.05MPa=3/0.5kgf/cm²

*1

Được đo bằng Áp kế chân không pirani.

*2

Các kiểu dầu khác có sẵn. Liên hệ Phòng kinh doanh của ULVAC.

*3

Cho vận hành liên tục với các đầu hút áp suất 530 Pa hoặc cao hơn, sử dụng làm mát bằng nước